Investigation of hydrogen plasma treatment for reducing defects in silicon quantum dot superlattice structure with amorphous silicon carbide matrix

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Investigation of hydrogen plasma treatment for reducing defects in silicon quantum dot superlattice structure with amorphous silicon carbide matrix

著者

和文:	山田繁, 黒川康良, 宮島晋介, 小長井誠.
英文:	Shigeru Yamada, Yasuyoshi Kurokawa, Shinsuke Miyajima, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nanoscale Research Letters

巻, 号, ページ

Vol. 9 pp. 72

出版年月

2014年2月12日

出版者

和文:
英文:	Springer

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI