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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Machine Tools for Micro- and Nanometer Scale Procesing 
著者
和文: 新野秀憲.  
英文: Hidenori SHINNO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Comprehensive Materials Processing 
巻, 号, ページ         pp. 15-26
出版年月 2014年5月31日 
出版者
和文: 
英文:Elsevier Ltd. 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
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英文: 

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