積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討
英文:

著者

和文:	松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 亀井将太, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Shota Kamei, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. P5

出版年月

2014年7月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
英文:

開催地

和文:	愛知県豊橋市
英文:

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