Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications

著者

和文:	町田克之, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 益一哉.
英文:	Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

volume 61 no. 6 pp. 21-39

出版年月

2014年5月11日

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI