酸化物半導体の強誘電体メモリ応用と液体プロセスに関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化物半導体の強誘電体メモリ応用と液体プロセスに関する研究
英文:	Study on Oxide Semiconductors with Ferroelectric Memory Applications and Liquid Process

著者

和文:	羽賀健一.
英文:	Ken-ichi Haga.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9649号

学位授与日

2014/09/25

審査員

徳光　永輔, 筒井　一生, 半那　純一, 波多野　睦子, 大見　俊一郎, 伊藤　学.

ファイル

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