A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 974-975

出版年月

2014年9月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:	筑波
英文:	Tsukuba

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