集積化CMOS?MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	集積化CMOS?MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討
英文:

著者

和文:	亀井将太, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Shota Kamei, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 13-065

出版年月

2014年9月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第７５回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	北海道札幌市
英文:

公式リンク