[Invited] Multi Patterning Techniques for Manufacturability Enhancement in Optical Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	[Invited] Multi Patterning Techniques for Manufacturability Enhancement in Optical Lithography

著者

和文:	高橋篤司, AWAD Ahmed, 小平行秀, 松井知己, Chikaaki Kodama, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.
英文:	Atsushi Takahashi, Ahmed Awad, Yukihide Kohira, Tomomi Matsui, Chikaaki Kodama, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the 2014 International Conference on Integrated Circuits, Design, and Verification (ICDV 2014)

巻, 号, ページ

pp. 117-122

出版年月

2014年11月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Hanoi