A Fast Lithographic Mask Correction Algorithm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Lithographic Mask Correction Algorithm

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2014-153)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2014-153)

巻, 号, ページ

Vol. 114 No. 476 pp. 1-6

出版年月

2015年3月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

和文:
英文: