高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法
英文:	An Evaluation Method of Brownian Noise in Highly Sensitive Capacitive Sensors

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 亀井将太, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Shota Kamei, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）
英文:

巻, 号, ページ

vol. 135 no. 4 pp. 142-143

出版年月

2015年4月1日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
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会議名称

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開催地

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DOI