対向プラズマフォーカス型EUV光源装置の準定常動作

論文・著書情報

タイトル

和文:	対向プラズマフォーカス型EUV光源装置の準定常動作
英文:	Quasi-steady Operation of Counter-facing Plasma-Focus Device for High-Average-Power Radiation

著者

和文:	狩野弘毅, 川崎朋晃, 西井大亮, 桑原一, 袖子田竜也, 徳地明, 堀岡一彦.
英文:	Kouki Kanou, Tomoaki Kawasaki, Daisuke Nishii, Hajime Kuwabara, Tatsuya Sodekoda, Akira Tokuchi, Kazuhiko Horioka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年11月18日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	PLASMA CONFERENCE 2014

開催地

和文:	新潟
英文: