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論文・著書情報


タイトル
和文:HfO2/Al2O3/In0.53Ga0.47As界 面に対する窒素プラズマクリーニング後の水素アニール効果に関する研究 
英文: 
著者
和文: 祢津 誠晃, 金澤 徹, 宮本 恭幸.  
英文: Netsu Seikou, Toru Kanazawa, YASUYUKI MIYAMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2015年3月12日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第62回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:平塚市 
英文: 

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