A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 513-516

出版年月

2015年11月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Sensors 2015

開催地

和文:
英文:	Busan