A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. Wed-C-p11

出版年月

2015年9月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)

開催地

和文:
英文:	Hague