マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 年吉洋, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 29pm2-D-4

出版年月

2015年10月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第7回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

和文:	新潟県
英文: