Effective two-dimensional pattern generation for self-aligned double patterning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effective two-dimensional pattern generation for self-aligned double patterning

著者

和文:	井原岳志, 高橋篤司, Chikaaki Kodama.
英文:	Takeshi Ihara, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS 2015)

巻, 号, ページ

pp. 2141-2144

出版年月

2015年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Lisbon

DOI