Humidity Tolerance for Athermal Si-Slot Wavelength Filters using Amorphous Fluoride Polymer and SiO2 Protection Layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Humidity Tolerance for Athermal Si-Slot Wavelength Filters using Amorphous Fluoride Polymer and SiO2 Protection Layer

著者

和文:	渥美裕樹, 姜晙炫, 鈴木純一, 林侑介, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Yuki Atsumi, JoonHyun Kang, Junichi Suzuki, Yuusuke Hayashi, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials 2014

開催地

和文:	茨城県
英文:	Ibaraki