Effects of residual hydrogen in sputtering atmosphere on structures and properties of amorphous In-Ga-Zn-O thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of residual hydrogen in sputtering atmosphere on structures and properties of amorphous In-Ga-Zn-O thin films

著者

和文:	Haochun Tang, 石川恭兵, 井手啓介, 平松秀典, Shigenori Ueda, 大橋直樹, 雲見日出也, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Haochun Tang, Kyohei Ishikawa, Keisuke Ide, Hidenori Hiramatsu, Shigenori Ueda, Naoki Ohashi, Hideya Kumomi, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 118 pp. 205703-1-6

出版年月

2015年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI