【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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タイトル
和文:
多層Al ゲート構造を用いたSi-MOS 量子ドットデバイス作製プロセスの検討
英文:
著者
和文:
本田 拓夢
, 米田 淳,
武田 健太
,
川那子 高暢
,
小寺 哲夫
,
樽茶 清悟
,
小田 俊理
.
英文:
Takumu Honda
, 米田 淳,
Kenta Takeda
,
Takamasa Kawanago
,
Tetsuo Kodera
,
Seigo Tarucha
,
SHUNRI ODA
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2016年3月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
東京都
英文:
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