High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers

著者

和文:	陳君怡, 葭葉将治, TSO-FU MARK CHANG, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 曽根正人.
英文:	Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Separation Techniques 2016

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Separation Techniques 2016,2nd International Conference and Expo on Separation Techniques

開催地

和文:
英文:	Valencia