Design and Fabrication Technology for Micro-Mechanical Motion Systems

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and Fabrication Technology for Micro-Mechanical Motion Systems

著者

和文:	堀江三喜男.
英文:	MIKIO HORIE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of IFToMM2015(CD-ROM), “Micro Fabrication Technologies” Forum (Invited)

巻, 号, ページ

出版年月

2015年10月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IFToMM2015 ( The 14th IFToMM World Congress )

開催地

和文:	台北
英文:	Taipei