A Fast Manufacturability Aware Optical Proximity Correction (OPC) Algorithm with Adaptive Wafer Image Estimation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Manufacturability Aware Optical Proximity Correction (OPC) Algorithm with Adaptive Wafer Image Estimation

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司, Chikaaki Kodama.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. Design, Automation and Test in Europe (DATE 2016)

巻, 号, ページ

pp. 49-54

出版年月

2016年3月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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