小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価
英文:

著者

和文:	高安基大, 權田惇晟, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Toshiaki Gonda, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年5月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	LSIとシステムのワークショップ2016
英文:

開催地

和文:	東京都
英文:

受賞情報

最優秀ポスター賞 (学生部門)