Estimate of Surface Concentration by Adsorption Model of Molecular Contaminant

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimate of Surface Concentration by Adsorption Model of Molecular Contaminant

著者

和文:	鍵直樹, 藤井修二, 湯淺和博, 並木則和.
英文:	Naoki Kagi, Shuji Fujii, Kazuhiro Yuasa, Norikazu Namiki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	I. Symp. on Contamination Control
英文:	Proceeding of 15th ICCCS International Symposium

巻, 号, ページ

pp. 142-148

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proceeding of 15th ICCCS International Symposium

開催地

和文:
英文: