Effect of Stress on Ferroelectricity of (Hf0.5Zr0.5)O2 Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Stress on Ferroelectricity of (Hf0.5Zr0.5)O2 Thin Films

著者

和文:	舟窪浩, 白石貴久, 横内達彦, Takahiro Oikawa, 内田寛.
英文:	Hiroshi Funakubo, Takahisa Shiraishi, Tatsuhiko Yokouchi, Takahiro Oikawa, Hiroshi Uchida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年11月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2015 MRS Fall Meeting & Exhbit

開催地

和文:
英文:	Boston, MA