PLD法によりSi基板上に製膜したY2O3安定化ZrO2薄膜の抵抗スイッチング

論文・著書情報

タイトル

和文:	PLD法によりSi基板上に製膜したY2O3安定化ZrO2薄膜の抵抗スイッチング
英文:	Resistive switching in Y2O3-stabilized ZrO2 thin films deposited on Si substrates by PLD

著者

和文:	塩田忠, 白田稜, 二ツ森皓史, 西山昭雄, 櫻井修, 篠崎和夫.
英文:	Tadashi SHIOTA, Ryo Shirata, Koshi Futatsumori, Akio Nishiyama, osamu sakurai, KAZUO SHINOZAKI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第36回エレクトロセラミックス研究討論会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年10月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第36回エレクトロセラミックス研究討論会
英文:

開催地

和文:	神奈川
英文: