Micromachining and micro-magnetization of Pr-Fe-B magnets fabricated using pulsed laser deposition for MEMS applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micromachining and micro-magnetization of Pr-Fe-B magnets fabricated using pulsed laser deposition for MEMS applications

著者

和文:	藤原良元, 田中駿也, 土方亘, 進士忠彦, Keishi Hirotaki, Akihiro Yamashita, Masaki Nakano.
英文:	Ryogen Fujiwara, Shunya Tanaka, Wataru Hijikata, Tadahiko Shinshi, Keishi Hirotaki, Akihiro Yamashita, Masaki Nakano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A:Physical

巻, 号, ページ

No. 251 pp. 219-224

出版年月

2016年11月

出版者

和文:
英文:	ELSEVIER

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI