RC発振器型高感度容量検出回路

論文・著書情報

タイトル

和文:	RC発振器型高感度容量検出回路
英文:	A high-resolution capacitive sensor circuit using RC oscillator

著者

和文:	高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 石原昇, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2016年10月24日

出版者

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会議名称

和文:	第8回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

和文:	長崎県
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