A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Proceeding

巻, 号, ページ

pp. 1162-1164

出版年月

2016年10月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Sensors 2016

開催地

和文:
英文:	FL

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受賞情報

Best Industrial Paper Award