Manufacturability-aware Mask Assignment in Multiple Patterning Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Manufacturability-aware Mask Assignment in Multiple Patterning Lithography

著者

和文:	小平行秀, 高橋篤司, 松井知己, Chikaaki Kodama, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.
英文:	Yukihide Kohira, Atsushi Takahashi, Tomomi Matsui, Chikaaki Kodama, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the 2016 IEEE Asia-Pacific Conference on Circuits and Systems (APCCAS 2016)

巻, 号, ページ

pp. 538-541

出版年月

2016年10月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Jeju Island

公式リンク

DOI