A Fast Mask Manufacturability and Process Variation Aware OPC Algorithm with Exploiting a Novel Intensity Estimation Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Mask Manufacturability and Process Variation Aware OPC Algorithm with Exploiting a Novel Intensity Estimation Model

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司, 児玉親亮.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE Trans. Fundamentals

巻, 号, ページ

Vol. E99-A No. 12 pp. 2363-2374

出版年月

2016年12月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI