A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices

著者

和文:	中島英亮, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 小西敏文, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 曽根正人.
英文:	Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE-NEMS 2017

巻, 号, ページ

出版年月

2017年4月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE-NEMS 2017

開催地

和文:
英文:	Los Angeles