Intensity Difference Map (IDM) Accuracy Analysis for OPC Efficiency Verification and Further Enhancement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Intensity Difference Map (IDM) Accuracy Analysis for OPC Efficiency Verification and Further Enhancement

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司, 田中聡, 児玉親亮.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Satoshi Tanaka, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IPSJ Trans. on System LSI Design Methodology

巻, 号, ページ

Vol. 10 pp. 28-38

出版年月

2017年2月3日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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