A Fast Process-Variation-Aware Mask Optimization Algorithm With a Novel Intensity Modeling

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Process-Variation-Aware Mask Optimization Algorithm With a Novel Intensity Modeling

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司, Satoshi Tanaka, Chikaaki Kodama.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Satoshi Tanaka, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Very Large Scale Integration (VLSI) Systems

巻, 号, ページ

Vol. 25 No. 3 pp. 998-1011

出版年月

2017年3月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
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