Computer simulations suggest for the vibration-type MEMS-viscosity sensor with spiral beams

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Computer simulations suggest for the vibration-type MEMS-viscosity sensor with spiral beams

著者

和文:	崔乗吉吉, 堀江三喜男.
英文:	Seungchol Choi, Mikio Horie.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Seoul International Conference on Engineering and Applied Sciences

巻, 号, ページ

出版年月

2017年2月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Seoul International Conference on Engineering and Applied Sciences (SICEAS 2017)

開催地

和文:
英文:	Seoul