Growth of orientation-controlled ferroelectric HfO2 thin films by solid phase crystallization and their characterization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of orientation-controlled ferroelectric HfO2 thin films by solid phase crystallization and their characterization

著者

和文:	三村和仙, Kiriha Katayama, 清水荘雄, 内田寛, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年6月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 Joint RCBJSF-IWRF Conference

開催地

和文:
英文:	Shimane