Membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p-i-n photodetector fabricated on Si substrate using Benzocyclobutene bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p-i-n photodetector fabricated on Si substrate using Benzocyclobutene bonding

著者

和文:	コシチン, 瓜生達也, 井上大輔, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Zhichen Gu, Tatsuya Uryu, Daisuke Inoue, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

H-6-02

出版年月

2017年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017)

開催地

和文:
英文:	Sendai