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論文・著書情報


タイトル
和文:III-V/SOIハイブリッドデバイスのSi導波路結合器部のテーパ先端幅許容度向上に向けた検討 
英文: 
著者
和文: 鈴木 純一, 永坂 久美, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久.  
英文: Junichi Suzuki, Kumi Nagasaka, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 7a-A504-1   
出版年月 2017年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第78回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
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