Chemical Solution Deposition of Hafnia-Zirconia Ultrathin Films for Ferroelectric Capacitor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical Solution Deposition of Hafnia-Zirconia Ultrathin Films for Ferroelectric Capacitor

著者

和文:	内田寛, Syuhei Nakayama, Hiroaki Kawashima, Takahisa Shiraishi, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Hiroshi Uchida, Syuhei Nakayama, Hiroaki Kawashima, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年12月4日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	AMEC 2016 (The 10th Asian Meeting on Electroceramics)

開催地

和文:
英文:	Taipei