MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路
英文:	A high-resolution capacitive sensor circuit for MEMS accelerometers

著者

和文:	高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月5日

出版者

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会議名称

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡県
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