積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討
英文:	A Tilt Sensor Using a High-Resolution MEMS Inertial Sensor Fabricated by Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月5日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡県
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