Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)

開催地

和文:	宮城県
英文:	Miyagi

公式リンク