MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路
英文:	A capacitive sensor circuit based on relaxation oscillator for MEMS inertial sensors

著者

和文:	高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2017年10月31日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第9回集積化MEMSシンポジウム
英文:	The 9th Symposium on Integrated MEMS Technology

開催地

和文:	広島県
英文: