Effect of Ar-FAB irradiation to PL Characteristics of GaInAs/InP toward room temperature surface activated bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Ar-FAB irradiation to PL Characteristics of GaInAs/InP toward room temperature surface activated bonding

著者

和文:	永坂久美, 鈴木純一, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Kumi Nagasaka, Junichi Suzuki, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. P-22

出版年月

2017年12月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2017)

開催地

和文:
英文: