Multi-layered MoS2 film formed by high-temperature sputtering for enhancement-mode nMOSFETs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multi-layered MoS2 film formed by high-temperature sputtering for enhancement-mode nMOSFETs

著者

和文:	大橋匠, 須田耕平, 石原聖也, 澤本直美, 山口晋平, 松浦賢太朗, 角嶋邦之, 杉井信之, 西山彰, 片岡好則, 名取研二, 筒井一生, 岩井洋, 小椋厚志, 若林整.
英文:	T. Ohashi, K. Suda, S. Ishihara, N. Sawamoto, S. Yamaguchi, K. Matsuura, K. Kakushima, N. Sugii, A. Nishiyama, Y. Kataoka, K. Natori, K. Tsutsui, H. Iwai, A. Ogura, H. Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 54 No. 4S

出版年月

2015年3月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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