Study on the Optimization of MEMS Fabrication for ECF (Electro-conjugate Fluid) Micropumps and Its Application to Soft Robots

論文・著書情報

タイトル

和文:	ECFマイクロポンプのMEMS製作における最適化とこのマイクロポンプのソフトロボットへの応用
英文:	Study on the Optimization of MEMS Fabrication for ECF (Electro-conjugate Fluid) Micropumps and Its Application to Soft Robots

著者

和文:	HANDONG.
英文:	Dong Han.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第10880号

学位授与日

2018/03/26

審査員