XeF2気相エッチングによるSi マイクロ凹面鏡構造の製作

論文・著書情報

タイトル

和文:	XeF2気相エッチングによるSi マイクロ凹面鏡構造の製作
英文:	Microfabrication of Si based concave micromirror structure by XeF2 Vapor Etching

著者

和文:	松谷晃宏, 西岡國生, 佐藤美那.
英文:	Akihiro Matsutani, Kunio Nishioka, Mina Sato.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

17p-P2-10 p. 01-022

出版年月

2018年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 65th JSAP Spring Meeting

開催地

和文:	東京
英文: