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論文・著書情報


タイトル
和文:バイポーラPBII 法によるトレンチ形状物へのDLC成膜 
英文: 
著者
和文: 平田祐樹, 朴 元淳, 崔 埈豪, 加藤 孝久.  
英文: Yuki Hirata, 朴 元淳, Junho Choi, Takahisa Kato.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:トライボロジスト 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年11月 
出版者
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会議名称
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開催地
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