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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Microstructure of a-C:H film prepared on micro trench and analysis of ions and radicals behavior 
著者
和文: 平田祐樹, 崔 埈豪.  
英文: Yuki Hirata, Junho Choi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ        
出版年月 2015年8月 
出版者
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会議名称
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開催地
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