Deposition of a-C:H Films on a Nanotrench Pattern by Bipolar PBII&amp;D

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of a-C:H Films on a Nanotrench Pattern by Bipolar PBII&D

著者

和文:	平田祐樹, Yuya Nakahara, Keisuke Nagato, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Yuya Nakahara, Keisuke Nagato, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Physics D: Applied Physics

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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